河南科晶化工产品有限公司

一，一般

1，在电子厂专用气体系统工程设计和施工中正确实施国家法律法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，实现安全，应用，先进技术和经济合理性。 。制定此规范。

2.本规范适用于新建，扩建和改建电子厂的特殊气体输送系统工程的设计和建造。

3.本规范不适用于特殊气体生产，净化和灌装系统的设计和建造。

4.特殊气体系统的设计和施工应符合本规范的规定，并应符合相关的国家标准。

第二，这个词

1，特殊气体专用气体

膜气体，掺杂气体，外延气体，离子注入气体，蚀刻气体和用于生产各种电子产品的工艺设备中使用的气体。通常，它包括可燃气体，氧化气体，腐蚀性气体，有毒气体，惰性气体等。

2，特殊气体系统特种气体系统

特殊气体系统是设备，管道和部件的总称，用于在客户现场储存，运输和分配特种气体。

3，特殊燃气室特色燃气室

指电子生产厂内放置专用气瓶柜，气瓶架，废气处理装置，气瓶等燃气设备的房间，特殊气体通过管道输送到燃气设备。

4，硅烷站硅烷站

它指的是硅烷储存设备（气瓶，气瓶，Y气瓶，长管拖车或ISO标准储罐），硅烷气化设备和废气处理设备，电气设备等的放置。供应的独立建筑物或区域硅烷气体。

5，明火场所明火现场

室内和室外固定火焰或红色热表面上的固定位置。

6，火花点火场

分散的烟囱或固定位置，如户外焊接，砂轮，气焊等。

7，空瓶子

具有残余压力的气瓶。

8，固体瓶满缸

含有气体压力的气瓶储存在含有气体的气瓶中。特殊气瓶的体积通常为40L，47,48L等。

9，气缸组件网格气缸组

它由特殊的金属框架固定，并且使用气缸组单元，其中多个气缸接口通过集气管并联组合。气缸数分别为9,12和16。单个气缸的水量通常为40至50L。

10，气柜柜气柜（GC）

用于特殊气体的封闭式气瓶放置和管理设备，一般配备安全使用所需的设施，如减压装置，真空发生器，紧急切断阀，过流开关，风压事故报警，压力监测和报警。排气管配有泄漏探头。气瓶柜有手动，半自动和全自动两种类型。

11，气瓶架气架（GR）

开放式气瓶放置和管理特殊气体的设备，一般配备减压装置，吹扫装置，气体终端过滤器，紧急切断阀，压力监测和报警等安全设施。气瓶架有三种类型：手动，半自动和全自动。

12，阀箱阀歧管盒（VMB）

VMB采用特殊气体输送过程中封闭的气体分配元件，在进气口配有气动阀和手动阀。除了SiH2Cl2和WF6等低蒸汽压气体外，每个支管都可以配备手动阀，压力表和过滤器等组件。 VMB管可根据需要配备压力调节阀。 VMB需要设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。

13，阀盘阀歧管面板（VMP）

VMP在特殊气体输送过程中使用的开口配管部件，在进气口配有气动阀和手动阀。每根支管应配备手动阀，压力表，过滤器等部件。 VMP管可根据需要配备压力调节阀。 。

14.低蒸气压气体

在室温下具有小于0.2MPa的饱和蒸气压的气体。

15，废气处理装置局部洗涤器

一种处理易燃，易爆，有毒，腐蚀性气体等废气和吹扫气体的装置，处理后的尾气达到规定的排放浓度，并排入燃气车间的排气管。

16，气体检测系统气体检测系统（GDS）

它设置在特殊气瓶柜，气瓶架，阀箱，阀盘和其他特殊气体输送设备和管道所覆盖的区域。通过检测空气中的必需气体或相关气体的含量，判断必需气体的泄漏。声光报警信号，系统提供应急处理数据。

17.气体管理系统（GMS）

气体管理和控制系统的总称，包括特种气体检测系统，应急响应系统，工作管理系统，监测系统以及数据传输和处理系统。

18，最高允许浓度值

阈值限制值（TLV）

工作环境中空气中有害物质的最大允许浓度。

19.爆炸浓度下限

低爆炸极限（LEL）

可燃气体在空气或氧化气体中爆炸的浓度下限。

20，卧式气缸Y缸/T型缸

用于储存更多特种气体的圆筒。一般水量为500L，1000L。

21，自燃气体发火气

气体的自动燃烧发生在空气中。

22，可燃气体可燃气体

指可以形成一定浓度的气体的空气（或氧气）的混合物，并且遇到在火源时会燃烧或爆炸的气体。

23，有毒气体

LC50超过200ppm但不超过2000ppm的气体。

24，腐蚀性气体腐蚀性气体

它指的是在与材料或人体组织接触的条件下产生可见损害或不可逆反应的化学反应的气体。

25，氧化气体

它指的是当暴露于某种条件时产生相对严重的化学反应而失去电子的气体。

26，惰性气体惰性气体

通常不会与其他物质发生反应的气体。

27，限流孔板（限流孔板（RFO）

定义系统最大流量的设备。

28，过流开关过流量开关（EFS）

当流量超过设定值时，给出开关信号。

29，AP管

退火和酸洗管

钝化的无缝不锈钢管，经过酸洗或钝化处理，可去除表面残留的颗粒。

30，BA管

光亮退火管

一种明亮的无缝不锈钢管，在氢化或真空状态下经受高温热处理，以消除内应力并在管表面形成钝化膜。

31，EP管

电抛光管

通过电化学抛光，表面层的实际面积最大程度地减小，并且在表面上形成具有厚的闭合氧化铬膜的电化学抛光的无缝不锈钢管。

32，清洗和清洗

用氮气和氩气替换特种气体系统中的其他气体的过程。

33，排气口

从系统排出的特殊气体设备和必需气体。

34，数据采集与监控系统的监控与控制

Dataacquisition（SCADA）

它是一个基于计算机的生产过程控制和调度自动化系统。它可以现场监控运行设备，实现数据采集，设备控制，测量，参数调整，各种信号报警等多种功能。

35，工厂设备管理控制系统设施管理控制

系统（FMCS）

用于管理工厂的电力设备的管理控制系统通常仅具有监视功能并且不具有控制功能。

36，块状硅烷体系本体硅烷体系

指容器水量超过250L的硅烷系统，包括气缸，Y气缸，长管拖车（T/T），ISO标准储罐和超过7的独立小气缸系统。

37，燃气面板燃气面板

集成组件，如截止阀，压力调节器，过滤器，压力表等安装在气瓶柜中。

38.开放式开放区域

柱和墙覆盖的部分小于周长的25％。

39，向内泄漏检测内侧泄漏测试

又称喷嚏试验。内部泄漏和外部喷嚏方法用于测试管道系统的泄漏率。

40，阀座泄漏检测交叉座他泄漏测试

使用阀的上游来填充氦气，向下游抽真空并检测泄漏率的方法。

41，向外泄漏检测船外他泄漏测试

也称为嗅探法测试，使用管道内部填充氦气或氦 - 氮混合气体的方法，以及外部吸枪检查泄漏点的泄漏率。

42.不相容性不相容

当不同的气体混合时会发生化学反应，释放能量并破坏环境。

43. ISO标准储罐ISO模块根据国际标准组织（ISO）的要求，允许多个水量不超过1218L的罐或长管筒的总称安装在架子上。 44，散装特殊气体输送系统的应用：1）集束气缸（12缸以上，容积小于50L）; 2）Y形气缸; 3）T形气缸; 4）长管拖车; 5）ISO罐等特殊储气和曝气操作系统。